001-4130-03 Brooks Automation

該控制器模塊通常用于自動(dòng)化和過(guò)程控制系統(tǒng)中，能夠提供高精度、高速度和高穩(wěn)定性的操作。其設(shè)計(jì)包括冗余機(jī)制以確保高可靠性，并采用伺服電機(jī)和編碼器實(shí)現(xiàn)精確的晶圓位置和角度控制，誤差范圍可達(dá)微米級(jí)。

參數(shù)

流量范圍:0至20 L/min

精度:±0.5%

重復(fù)性:±0.25%

響應(yīng)時(shí)間:<250ms

工作溫度:-20°C至+80°C

防護(hù)等級(jí):IP65

認(rèn)證:CE、ATEX、IECEx

特征與作用

該控制器具備高精度定位功能，這對(duì)于制造高質(zhì)量的半導(dǎo)體器件至關(guān)重要。它還具有快速的動(dòng)態(tài)響應(yīng)速度，可以迅速調(diào)整晶圓的位置和角度，從而提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

應(yīng)用領(lǐng)域

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的各個(gè)環(huán)節(jié)，包括晶圓清洗、光刻、刻蝕、沉積、CMP、測(cè)試和封裝等。此外，它也可用于各種類型的晶圓對(duì)準(zhǔn)設(shè)備，如步進(jìn)式對(duì)準(zhǔn)機(jī)、掃描式對(duì)準(zhǔn)機(jī)和雙曝光對(duì)準(zhǔn)機(jī)等

001-4130-03