?? 產(chǎn)品簡要說明

ZYGO 8010-0105-02?是一款?5μm 量程電容式位移傳感器探頭，需搭配?ZMI-501 信號(hào)調(diào)理器?使用。系統(tǒng)提供?±10V 模擬輸出，分辨率達(dá)?0.1 nm，線性度優(yōu)于?±0.02%，適用于半導(dǎo)體光刻機(jī)、精密光學(xué)平臺(tái)、計(jì)量校準(zhǔn)等對(duì)穩(wěn)定性要求極高的場景。

探頭型號(hào)：8010-0105-02(量程 5 μm)

控制器：ZMI-501(單通道信號(hào)調(diào)理器)

輸出信號(hào)：±10 V DC(對(duì)應(yīng)滿量程)

分辨率：0.1 nm RMS

應(yīng)用：非接觸式納米級(jí)位移/厚度/平面度測量

?? 產(chǎn)品概述

在納米技術(shù)時(shí)代，亞微米甚至納米級(jí)的位移控制已成為高端制造的剛需。ZYGO CapSensor 系統(tǒng)?憑借其?無與倫比的穩(wěn)定性與分辨率，成為眾多尖端設(shè)備的“感知器官”。

8010-0105-02 + ZMI-501 的工作原理：

探頭?向被測導(dǎo)體表面發(fā)射高頻電場;

被測物與探頭形成一個(gè)?平行板電容器，電容值隨間隙變化;

ZMI-501 控制器?將微小電容變化轉(zhuǎn)換為高線性度的?±10V 模擬電壓;

該信號(hào)可直接接入?數(shù)據(jù)采集卡、PLC 或運(yùn)動(dòng)控制器，實(shí)現(xiàn)閉環(huán)反饋。

???為何選擇電容而非激光？

更高分辨率：電容易達(dá) 0.1nm，激光干涉儀通常 >1nm;

不受光學(xué)干擾：不依賴表面反射率，對(duì)透明/鏡面/粗糙表面均穩(wěn)定;

無熱效應(yīng)：無激光加熱導(dǎo)致的熱漂移。

? 主要特點(diǎn)與優(yōu)勢

極致分辨率：0.1 nm，可檢測原子層級(jí)的位移;

超高線性度：±0.02%，確保測量數(shù)據(jù)真實(shí)可信;

非接觸測量：無機(jī)械磨損，不干擾被測物;

抗電磁干擾：屏蔽電纜 + 差分信號(hào)設(shè)計(jì)，適用于電機(jī)/變頻器附近;

長期穩(wěn)定性：溫漂 < 0.1 ppm/°C，適合7×24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行;

即插即用：ZMI-501 支持自動(dòng)探頭識(shí)別與校準(zhǔn)。

?? 典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體制造：光刻機(jī)工件臺(tái)位置反饋、CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)終點(diǎn)檢測;

精密光學(xué)：望遠(yuǎn)鏡鏡面主動(dòng)支撐、激光諧振腔長度控制;

計(jì)量校準(zhǔn)：納米定位平臺(tái)標(biāo)定、標(biāo)準(zhǔn)量塊厚度測量;

科研實(shí)驗(yàn)：原子力顯微鏡(AFM)、引力波探測器隔振平臺(tái)監(jiān)測;

硬盤生產(chǎn)：磁頭飛行高度實(shí)時(shí)監(jiān)控。

?? 全球頂級(jí)光刻機(jī)廠商(如 ASML)在其原型機(jī)中大量采用 ZYGO 電容傳感器進(jìn)行關(guān)鍵軸定位驗(yàn)證。

?? 選型與購買建議

??確認(rèn)量程：8010-0105-02 = 5μm;其他常見型號(hào)：

– 8010-0102-02 = 2μm

– 8010-0110-02 = 10μm

??必須配套 ZMI-501(或 ZMI-201/ZMI-301 舊版);

??被測物必須為導(dǎo)體(鋁、銅、硅片等)，絕緣體(玻璃、陶瓷)需特殊“雙探頭”方案;

??不適用于油污、粉塵環(huán)境(需潔凈室或氣幕保護(hù));

???強(qiáng)烈建議購買原廠校準(zhǔn)證書(含線性度實(shí)測數(shù)據(jù))。

?? 注意：8010-0105-02 是探頭，單獨(dú)無法工作。完整系統(tǒng) =?探頭 + 電纜 + ZMI-501 控制器。

? 常見問題解答 (FAQ)

Q：能測玻璃或塑料嗎？

A：不能直接測量。電容傳感器要求被測物為導(dǎo)體。若需測絕緣體，必須在其背面貼導(dǎo)電膜，或使用?雙探頭差分模式(需 ZMI-501 雙通道版)。

Q：分辨率 0.1nm 是怎么做到的？

A：通過?高穩(wěn)定振蕩電路 + 低噪聲放大器 + 數(shù)字濾波?實(shí)現(xiàn)。實(shí)際有效分辨率受環(huán)境振動(dòng)、電源噪聲影響，建議在隔振光學(xué)平臺(tái)上使用。

Q：ZMI-501 能接多個(gè)探頭嗎？

A：不能。ZMI-501 是?單通道?控制器。多軸測量需多個(gè) ZMI-501 或選用?ZMI-800 多通道主機(jī)。

Q：輸出能直接進(jìn) PLC 嗎？

A：可以!±10V 模擬信號(hào)可直接接入支持 ±10V 輸入的?高精度模擬量模塊(如 NI 9215、Beckhoff EL3102)。

?? 安裝與使用建議

固定探頭：使用剛性支架，避免懸臂結(jié)構(gòu);

對(duì)準(zhǔn)被測面：探頭軸線垂直于被測表面，偏角 < 2°;

清潔環(huán)境：保持探頭窗口無塵、無指紋;

預(yù)熱：開機(jī)后預(yù)熱 30 分鐘，達(dá)到熱平衡;

接地：ZMI-501 和被測物必須共地，防止地環(huán)路噪聲。

?? 相關(guān)產(chǎn)品

ZYGO ZMI-501：單通道信號(hào)調(diào)理器(必配)

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ZYGO ZMI-800：8通道主機(jī)，支持多軸同步

ZYGO Metrology Software：配套數(shù)據(jù)分析軟件

??? 產(chǎn)品保障

每一套?ZYGO 8010-0105-02 + ZMI-501?均來自?AMETEK ZYGO 原廠渠道，提供：

出廠校準(zhǔn)證書(含線性度、靈敏度實(shí)測數(shù)據(jù))

一年質(zhì)保

應(yīng)用工程師技術(shù)支持(協(xié)助安裝、調(diào)試、故障排查)

在納米世界，0.1nm 的誤差就是天壤之別。選擇 ZYGO，就是選擇一份經(jīng)得起國際計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)檢驗(yàn)的絕對(duì)精準(zhǔn)。

Shenzhen Changxin supplies genuine?ZYGO 8010-0105-02 capacitive probes with ZMI-501 signal conditioners—delivering true nanometer-level displacement measurement for the most demanding applications in semiconductor, optics, and precision engineering. With 0.1 nm resolution, ±0.02% linearity, and exceptional long-term stability, this system is the trusted choice of leading research labs and OEMs worldwide. Every unit comes with a factory calibration certificate and full technical support. Because when your process demands perfection, compromise is not an option. Trust us to deliver the precision you require.