描述

本系統(tǒng)中的電流采樣電路由電流互感器、過壓保護、電阻網絡和去抖動電容組成。采用電流互感器的主要優(yōu)點在于可實現高壓與低壓的隔離。由于CS5463的電流檢測實際上是將電流信號轉變?yōu)殡妷盒盘柡蟮碾妷簷z測，所以，在電路中，先由采樣電阻將互感電流轉變?yōu)殡妷盒盘?，再通過限流電阻和電容濾波后輸人到CS5463的電流檢測管腳(16、15腳)。另外，在兩路輸入中，還分別用二極管進行電壓嵌位，以避免電壓過高損壞CS5463。CS5463的3、14腳分別為模擬、數字+5V電源。同時，為了濾除電壓波動，增加電源的穩(wěn)定性，在兩路電源輸入時，分別加了濾波電容。由于此為電流檢測，所以電壓檢測的兩輸入腳9和10也應接模擬地以避免干擾。另外，13腳VA要接模擬地，4腳DGND接數字地，模擬地和數字地之間用電感連接。1、24(XOUT，XIN)兩腳接4.096NHz的晶振。并用程序控制CS5463自動完成輸入信號的檢測，同時通過6腳SDO輸出數據；而分別由5腳SCLK、7腳、19腳RES、20腳INT、23腳SDI輸出單片機的時鐘脈沖、片選信號、復位信號、中斷信號以及單片機對CS5463的控制信號。由于CS5463要完成對模擬信號的檢測并以數字信號輸出檢測值，即一個芯片同時有模擬、數字兩種信號，因而需要模擬和數字兩路電源；同時，其需要接地的管腳一定要正確接相應的地，不然將會引入很大的干擾。

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主營：世界知名品牌的PLC、DCS系統(tǒng)備件模塊

②Schneider(施耐德電氣)系列產品》

③General electric(通用電氣)系列產品》

④Westinghouse（美國西屋）系列產品》

⑤SIEMENS(西門子系列產品)》

⑥銷售ABB Robots.FANUC Robots、YASKAWA Robots、KUKA Robots、Mitsubishi Robots、OTC Robots、PanasonicRobots、MOTOMAN Robots。

⑦estinghouse（西屋）：OVATION系統(tǒng)、WDPF系統(tǒng)、MAX1000系統(tǒng)備件。

⑧Invensys Foxboro（福克斯波羅）：I/A Series系統(tǒng)，FBM（現場輸入/輸出模塊）

順序控制、梯形邏輯控制、事故追憶處理、數模轉換、輸入/輸出信號處理、數

據通信及處理等。Invensys Triconex:冗余容錯控制系統(tǒng)、基于三重模件冗余（TMR）

結構的zui現代化的容錯控制器。

⑨Siemens(西門子)：Siemens MOORE，Siemens Simatic C1，Siemens數控系統(tǒng)等。

⑩Bosch Rexroth（博世力士樂）：Indramat，I/O模塊,PLC控制器,驅動模塊等。

◆Motorola（摩托羅拉）：MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等系列。

KLA-Tencor AIT1 Robot Distr.Assy.PCB 530352 Working

KLA-Tencor AIT1 Olympus Microscope Assembly Working

ENI DCG-200 20kW DC Power Supply DCG-200Z 0190-22954

ENI GHW-12 GHW-12Z Genesis RF Generator 0190-06988

Nikon Optistation 3 Microscope Assy W/Accessories

Daikin Heat Exchanger Brine Chiller Unit TBR15BM

Kensington Transfer Robot 25-3700-1425-08 working

Kensington Transfer Robot 25-3700-1425-10 working

Kensington Transfer Robot 25-3700-1425-08 working

AE RF Bias Match 3155031-037A not working 1110-00056

AE RF Match 3155031-037A not working 1110-00056

Shimadzu 20M 90 Deg Turbopump Cable Set 262-78462-56V1

Velmex Unislide 200mm Rotary Table B4818TS working

ENI GHW-12Z Genesis RF Generator 1250W working

Adlink AMAT cPCI-3720 Single Board Computer 0190-19561

Yaskawa 8-Axis Motion Controller SMC 2000-8DM working

Equipe PRI Robot Controller SC8-41000-000 untested

Neslab HX 300 Chiller HX+300W/C 0190-77428

Yaskawa Nikon NSR S202 Controller DDCVR-CR1041 working

Nikon NSR S202 Controller 4K171-841-3 working

CPS TFE High Volt Power Supply 1966-00-0030 untested

Nikon NSR-202 Stepper Power Controller RR-002V1.3

Nikon NSR S202 DUV Scanner Scan Module working

Yaskawa Nikon NSR S202 Scanner Robot Elevator Module

Nikon NSR-S202A 200mm Wafer Handler Prealigner working

NovaScan 420 Nova Applied Materials AMAT NOVA 840

Daikin Heat Exchanger Brine Chiller Unit TBR15AMX

ASML 200mm Stepper DSC 7911 PCB 6810116041

TEL Tokyo Electron 100mm Back Plane Heater A112654

JEOL 7500 Heat Magenetic Chamber FEG WS-7555FEGH/IP

Lam Lower Electrode ASM Drive 853-250589R001 Refrbshd

AMAT Applied Materials RF Match 0010-09416

AMAT XR80 Implanter Wafer Arm Controller 9090-00099ITL

AMAT 13.56MHz RF Match 0010-09146 refurbished

AMAT XR80 Implant Power Distribution Unit 9090-00104ITL

AMAT XR80 Implant Power Distribution Unit 9090-00194ITL

TEL Tokyo Electron Throttle Valve Assembly A112990

TEL Tokyo Electron 100mm Back Plane Heater A121893

Lam Research DI Disp Core Assembly 122940800 New

ASML Stepper Library Brake 851-0618-003 working

BioRad Quaestor Q7 Controller W/Tape/Disc Drive&PCBs

AE Advanced Energy PDX 1250 RF Generator 3156024-131A

AE RF Match Network 3155031-032A AMAT 0190-01402

AMAT Glassman High Volt Power Supply PS/KL030N100YUA

VAT Pneumatic Gate Valve 12148-PA44-AK01 working

Brooks CryoTiger Compressor T1101-01-000-14 working

VAT Pneumatic HV Gate Valve 14046-PE24-AAL1 new

V-Tex Vacuum Rollcam Slit Valve 200803-25-0013-?02 new

Nikon NSR Series Interface Unit Z-X4P/12-A0702C

Tokyo Electron ACT 8 Chem Cab Buffer Tank Assembly

Varian Turbo-V 1800 Controller 9699461S002 E23000028

Leybold Varian Turbopump Controller NT 1000 112087001

Varian E1000 Chamber Interface 101927004 working

AMAT XR80 Implanter Monitor Interface 9090-00279ITL

AMAT XR80 Implanter Monitor Interface 9090-00661ITL

Hitachi M-511E THK 200mm Wafer Indexer

Hitachi M-511E 200mm Wafer Prealigner Rorze Driver

AMAT XR80 Implanter Monitor Interface 9090-00100ITL

BioRad Quaestor Q7 Microscope Turret With Objectives

Thermo Electron DEI Water to Water Cooler Chiller

Microbar Trackmate Chemical Cabinet

Nikon Optistation 3 X Y Stage With Encoders

Varian TV 301 Vacuum Turbopump SQ424 working

VAT Pendulum Gate Valve Series 16.5 DN 63-320 w/Heat

ASML A5401A/B Preamp PCB Assembly 859030003