RPS AX7695 MKS 遠程等離子源

型號：RPS AX7695

品牌：MKS

制造商：MKS

系列：控制電源

分類：
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描述

產(chǎn)品描述

RPS AX7695 MKS遠程等離子源

產(chǎn)品品名:MKS RPS AX7695遠程等離子源

系列:RPS系列

作用:產(chǎn)生高密度、均勻的等離子體，用于材料改性、表面處理、薄膜沉積等多種應(yīng)用。

RPS AX7695 MKS 遠程等離子源

RPS AX7695 MKS 遠程等離子源

RPS AX7695 MKS 遠程等離子源

RPS AX7695 MKS 遠程等離子源

RPS AX7695 MKS 遠程等離子源

RPS AX7695 MKS 遠程等離子源

用途:

半導(dǎo)體制造:晶圓清洗、刻蝕、沉積等

光伏制造:玻璃清洗、鍍膜等

顯示器制造:蝕刻、沉積等

其他:生物醫(yī)學(xué)、航空航天、汽車制造等

特征:

高密度、均勻的等離子體

可控的等離子體參數(shù)

穩(wěn)定的運行

易于維護

產(chǎn)品說明:

MKS RPS AX7695遠程等離子源是一款高性能、高可靠性的遠程等離子源，采用先進的射頻(RF)技術(shù)和微波技術(shù)制造而成。它具有高密度、均勻的等離子體、可控的等離子體參數(shù)、穩(wěn)定的運行、易于維護等特點，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光伏制造、顯示器制造等多種領(lǐng)域。

產(chǎn)品描述:

MKS RPS AX7695遠程等離子源由電源、匹配網(wǎng)絡(luò)、等離子體腔體等組成。電源產(chǎn)生高頻或微波能量，通過匹配網(wǎng)絡(luò)傳輸?shù)降入x子體腔體。在等離子體腔體內(nèi)，電磁場將氣體激發(fā)成等離子體。等離子體通過等離子體出口射向目標表面，進行材料改性、表面處理、薄膜沉積等操作。

產(chǎn)品參數(shù):

型號:RPS AX7695

頻率:13.56 MHz

功率:2 kW

等離子體密度:>10^12 cm^-3

等離子體均勻性:<5%

產(chǎn)品規(guī)格:

尺寸:600 mm x 400 mm x 300 mm

重量:20 kg

應(yīng)用領(lǐng)域:

MKS RPS AX7695遠程等離子源廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:

半導(dǎo)體制造:晶圓清洗、刻蝕、沉積等

光伏制造:玻璃清洗、鍍膜等

顯示器制造:蝕刻、沉積等

其他:生物醫(yī)學(xué)、航空航天、汽車制造等


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3、進而練習(xí)整數(shù)運算、實數(shù)運算、類型轉(zhuǎn)換；
4、量程轉(zhuǎn)換、PID調(diào)節(jié)回路的建立及P、I、D參數(shù)的理解（最好是有個物理回路驗證，比如變頻器+電機+測速傳感器）；
5、循環(huán)、順序、跳轉(zhuǎn)等程序控制（盡量避免跳轉(zhuǎn)，非跳不可時也是跳的越近越好）；
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